میکرو پمپ (پمپ خلاء M/Micro) ، همچنین به عنوان پمپ هوا دو آب (میکرو هوا/پمپ) یا پمپ میکرو فیلم (پمپ میکرو فیلم) شناخته می شود ، می تواند به سه نوع تقسیم شود: گاز ، مایع و مخلوط گاز و مایع.